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在氦氣或氮?dú)獗Ｗo(hù)氣氛下，通過送粉裝置將CuSe粉體送到超音速冷噴涂技術(shù)槍，高速氣流將CuSe粉體按掃描方式逐層噴射在基體表面，每層1～5μm，直至CuSe堆積層的厚度達(dá)到5～20mm，冷卻至室溫，其中，冷噴涂****處氣體壓強(qiáng)為2～3MPa，氣體溫度為100～200℃；工作氣加熱到200～300℃，增壓至3～5MPa；噴射距離為30～55mm。

當(dāng)前難熔金屬以及合金旋轉(zhuǎn)靶材的加工方式主要是采用屬于粉末冶金工藝范疇的熱等靜壓(HIP)和一次燒結(jié)法以及軋制工藝兩大類。熱等靜壓(HotIsostaticPressing，簡(jiǎn)稱HIP)工藝是將制品放置到密閉的容器中，向制品施加各向同等的壓力，同時(shí)施以高溫，在高溫高壓的作用下，制品得以燒結(jié)和致密化。熱等靜壓工藝流程復(fù)雜、設(shè)備昂貴而且加工費(fèi)用很高，產(chǎn)品在生產(chǎn)成 本上很難有競(jìng)爭(zhēng)力但是采用熱等靜壓工藝的優(yōu)點(diǎn)是能夠獲得高密度且較低氧含量的靶材。

采用熱等靜壓(HIP)工藝制備旋轉(zhuǎn)難熔金屬靶材需要先通過冷等靜壓(CIP)壓制靶材管胚，再通過機(jī)加工將靶材管胚加工成規(guī)則形狀然后再按照靶材管胚制作熱等靜壓所需的包套，將靶材管胚放置到包套中并且將包套一邊加熱一邊抽真空后通過氬弧焊的方式對(duì)包套進(jìn)行密封。如果制作多個(gè)靶管就需要為每個(gè)靶管制作一個(gè)包套。后將包套放入熱等靜壓腔體開始熱等靜壓制程，等熱等靜壓制程結(jié)束后需要再將包套去除，然后機(jī)加工成所需尺寸得到成品靶材。燒結(jié)工藝是指粉末壓坯，在加熱到低于主要成分熔點(diǎn)的溫度，由于顆粒之間發(fā)生粘結(jié)等物理化學(xué)作用，得到所要求的強(qiáng)度和特性的材料或制品的工藝過程，燒結(jié)可分為粉末固相燒結(jié)和粉末液相燒結(jié)；按燒結(jié)氣氛，燒結(jié)可分為粉末氣氛燒結(jié)和粉末真空燒結(jié)；一次燒結(jié)工藝是流程為簡(jiǎn)單的方法，但燒結(jié)無法獲得高密度的靶材，通常密度只能達(dá)到90%左右，密度小的靶材作為靶材使用將無法獲得足夠致密的膜層，將影響鍍鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量，產(chǎn)生大量的缺陷產(chǎn)品。

UVTM廣州工廠建成于2006年，位于花都區(qū)華僑科技工業(yè)園，占地面積近3萬平方米，建筑面積239平方米,地理近臨廣州國(guó)際白云機(jī)場(chǎng)，交地便利。安純靶材。真空鍍膜機(jī)增透膜增加透射光強(qiáng)度的實(shí)質(zhì)是作為電磁波的光波在傳播的過程中，在不同介質(zhì)的分界面上，由于邊界條件的不同，改變了其能量的分布。對(duì)于單層薄膜來說，當(dāng)增透膜兩邊介質(zhì)不同時(shí)，薄膜厚度為1/4波長(zhǎng)的奇數(shù)倍且薄膜的折射率n=（n1*n2)^(1/2)時(shí)（分別是介質(zhì)2的折射率），才可以使入射光全部透過介質(zhì)。一般光學(xué)透鏡都是在空氣中使用，對(duì)于一般折射率在1.5左右的光學(xué)玻璃，為使單層膜達(dá)到的增透效果，可使n1=1.23，或接近1.23；還要使增透薄膜的厚度=（2k 1)倍四分之一個(gè)波長(zhǎng)。

噴涂靶材。新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用力度強(qiáng)磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周圍的氬氣離子化，造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加，提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍，而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍，基本的原理是在真空中利用輝光放電（glowdischarge）將氬氣（Ar）離子撞擊靶材（target）表面，電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在濮純金屬靶材。UVTM是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，公司成立于二00三年，專業(yè)從事信息、鍍膜、太陽(yáng)能材料的科研與生產(chǎn)。公司從德國(guó)、日本、引進(jìn)先進(jìn)的生產(chǎn)、檢測(cè)設(shè)備和專業(yè)人才，是集科研、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的中外合資企業(yè)。

而射頻濺射的使用范圍更為廣泛。除可濺射導(dǎo)電材料外。也可濺射非導(dǎo)電的材料，同時(shí)還可進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料�，F(xiàn)在很多廠家對(duì)于真空鍍膜設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)都不是很清楚。真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法是：用堿燒(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，(注意人體外表不可以直接接觸堿燒溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。當(dāng)粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半)，需更變新油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬平方米。尤特是一家專注于時(shí)尚消費(fèi)電子產(chǎn)業(yè)、節(jié)能綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)、新材料新技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用的重要高新技術(shù)企業(yè)。尤特以生產(chǎn)信息存儲(chǔ)記錄材料為起點(diǎn)，經(jīng)過10多年的開拓與發(fā)展，產(chǎn)業(yè)技術(shù)不斷迭代與升級(jí)，尤特的技術(shù)及應(yīng)用涉獵范圍逐步擴(kuò)大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環(huán)保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術(shù)及材料；信息存儲(chǔ)材料、導(dǎo)電散熱材料等。尤特一直倡導(dǎo)“新材料、促環(huán)保、美生活”企業(yè)使命。尤特遵循科學(xué)體系管理，先后通過《質(zhì)量管理體系》、《環(huán)境管理體系》、《職業(yè)健康與安全管理體系》認(rèn)證并有效運(yùn)行，產(chǎn)品符合全部環(huán)境及安全標(biāo)準(zhǔn)；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認(rèn)證等。尤特重視產(chǎn)品研發(fā)及技術(shù)創(chuàng)新，先后與"武漢大學(xué)"、"華南理工大學(xué)"、"中南大學(xué)"等高校、研究所建立"產(chǎn)學(xué)研"合作機(jī)制，并承擔(dān)多項(xiàng)省市立項(xiàng)的科研項(xiàng)目，公司目前已擁有幾十項(xiàng)自主研發(fā)新興材料及工藝的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，是廣州市扶持科技型要點(diǎn)培育上市企業(yè)。尤特先后獲得相關(guān)機(jī)構(gòu)的授予多個(gè)榮譽(yù)：如“國(guó)家生產(chǎn)力促進(jìn)獎(jiǎng)、國(guó)家有名商標(biāo)、廣東省守合同重信用企業(yè)、廣東省雇主責(zé)任示范企業(yè)、廣州市安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化達(dá)標(biāo)企業(yè)、廣州市工程技術(shù)研發(fā)中心、廣州科技小巨人企業(yè)、地方納稅企業(yè)”等榮譽(yù)。尤特全體同仁秉承“創(chuàng)造價(jià)值，分享價(jià)值“的核心價(jià)值觀，借鑒以往成功管理運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，持續(xù)深挖磁控濺射鍍膜材料下游應(yīng)用市場(chǎng)，不斷拓寬市場(chǎng)應(yīng)用領(lǐng)域，做優(yōu)做強(qiáng)鍍膜材料產(chǎn)業(yè),將公司打造為--磁控濺射靶材行業(yè)者。

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