真空鍍膜機(jī)之成膜控制系統(tǒng)

　　真空鍍膜機(jī)薄膜監(jiān)控目前應(yīng)用方式比較多，主要有：目視監(jiān)控法，定（較值）值監(jiān)控、水晶振蕩監(jiān)控、時(shí)間監(jiān)控等等。本人主要介紹目視監(jiān)控、定（較值）監(jiān)控和水晶振蕩監(jiān)控三種。
　　
　　目視監(jiān)控也叫直接監(jiān)控，就是采用眼睛監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ谏L(zhǎng)的過程中，由于干涉現(xiàn)象會(huì)有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗(yàn)。
　　
　　定值（較值）監(jiān)控：主要是采用反射式（透過式）光學(xué)監(jiān)控。較值監(jiān)控法：當(dāng)膜厚度增加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起變化，當(dāng)反射率或穿透率走到較值點(diǎn)的時(shí)候，就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)（入）的四分之一的整數(shù)倍。但是較值的方法誤差比非常大，因?yàn)楫?dāng)反射率或者透過率在較值附近變化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長(zhǎng)處。
　　
　　定值監(jiān)控法：此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長(zhǎng)四分之一波位，然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長(zhǎng)一時(shí)總膜厚之反射率（或者穿透率）是多少，此即為停止鍍膜點(diǎn)。
　　
　　水晶振蕩監(jiān)控：
　　
　　水晶振蕩的工作原理是：利用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個(gè)不好之處就是當(dāng)膜厚增加到一定厚度后，振動(dòng)頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此時(shí)必須使用新的石英振蕩片。
　　
　　幾種監(jiān)控方法各有優(yōu)劣，但通常鍍多層膜，會(huì)以光學(xué)監(jiān)控為主，石英晶體振蕩為輔助的方法。
　　
　　除此之外，對(duì)于有些在鍍膜過程中需要充入氣體的還有流量控制計(jì)或者壓力控制計(jì)，這些需要采用準(zhǔn)確的閥門和光電傳感系統(tǒng)來控制。
　　
　　在鍍膜過程中還需要回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)，就是將傘具的主軸置于軸承里面，然后再利用電機(jī)帶動(dòng)軸承，使傘具回轉(zhuǎn)。然后再PLC控制其回轉(zhuǎn)速度。
　　
　　坩堝回轉(zhuǎn)采用電機(jī)帶動(dòng)，光電感應(yīng)計(jì)數(shù)的方法，遮藥板采用氣動(dòng)開關(guān)方式轉(zhuǎn)動(dòng)。
　　
　　為了加快抽氣速率，達(dá)到一定的真空度，還需要對(duì)真空腔進(jìn)行制冷，就是將真空腔里面的空氣冷凍到零下130攝氏度，將真空腔里面的水氣冷凍并被泵抽走。
　　
　　電氣控制部分主要采用PLC自動(dòng)控制，就是先在PLC中輸入預(yù)先設(shè)計(jì)好的程序，處理器主電路與操作面板上的各空駛系統(tǒng)相連接，當(dāng)按下操作面板上的開關(guān)的時(shí)候，信息傳遞到中點(diǎn)處理器，再由中點(diǎn)控制系統(tǒng)分析并發(fā)出指令由支路執(zhí)行并完成動(dòng)作。
　　
　　鍍膜機(jī)是集多門學(xué)科的設(shè)備，它集成了當(dāng)今工業(yè)較先進(jìn)的機(jī)電技術(shù)，控制技術(shù)、電氣自動(dòng)化、IT技術(shù)、制冷技術(shù)，微電路集成系統(tǒng)、高壓控制系統(tǒng)、機(jī)械技術(shù)、加工技術(shù)、光電技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、氣動(dòng)控制技術(shù)、光電傳感技術(shù)、通訊技術(shù)、真空技術(shù)、薄膜光學(xué)與鍍膜技術(shù)等等。
　　
　　可以說鍍膜機(jī)是新興的產(chǎn)業(yè)代表。
　　
　　到今天，鍍膜機(jī)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，制鍍薄膜尤其廣泛，其制作的各種薄膜被應(yīng)用到各光電系統(tǒng)及光學(xué)儀器中，如數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、望遠(yuǎn)鏡、投影機(jī)、能量控制、光通訊、顯示技術(shù)、干涉儀、人造衛(wèi)星飛彈、半導(dǎo)體激光、微機(jī)電系統(tǒng)、信息工業(yè)、激光的制作、各種濾光片、照明工業(yè)、傳感器、建筑玻璃、汽車工業(yè)、裝飾品、錢幣、眼鏡片等等，鍍膜機(jī)器已經(jīng)與人類的生活緊密聯(lián)系。
　　
　　一臺(tái)進(jìn)口鍍膜機(jī)造價(jià)通常達(dá)到300～1000萬金額，國(guó)產(chǎn)設(shè)備目前的造價(jià)也在100萬左右，進(jìn)口設(shè)備已經(jīng)完全自動(dòng)化，整個(gè)生產(chǎn)過程都由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成，其先進(jìn)程度優(yōu)于世界上任何自動(dòng)化作業(yè)模式，由于國(guó)內(nèi)的真空技術(shù)起步較晚，加上技術(shù)有限，故到目前為止還采用人工操作模式，有些廠商有借鑒進(jìn)口設(shè)備的運(yùn)作模式，可以達(dá)到半自動(dòng)化作業(yè)模式，比如：成都的南光鍍膜機(jī)器、廣東的騰勝鍍膜機(jī)、寶島的龍翩鍍膜機(jī)、北儀真空、沈陽真空等在業(yè)界皆有名次。