旭硝子集團(tuán)已研發(fā)出多樣化的玻璃基板生產(chǎn)線

【中玻網(wǎng)】旭硝子集團(tuán)(AGC Group)是大部分國家技術(shù)優(yōu)異的玻璃、化學(xué)、先進(jìn)材料等材料的生產(chǎn)廠商，已研發(fā)出多樣化的玻璃基板生產(chǎn)線，滿足在半導(dǎo)體封裝及半導(dǎo)體制程中的支持與應(yīng)用。

　　AGC產(chǎn)品整體化支持主要先進(jìn)封裝技術(shù)。Wafer-level packaging(WLP)技術(shù):芯片在晶圓上未切割的狀態(tài)下直接封裝，對次世代半導(dǎo)體和MEMS裝置來說是一大進(jìn)步，也增長了對玻璃晶圓的需求，特別是玻璃的熱膨脹系數(shù)可以調(diào)整為和硅晶圓一致，能夠有效地舒緩基板因材料熱膨脹系數(shù)不一致而產(chǎn)生的翹曲問題。

　　另一個(gè)與玻璃基板相關(guān)的指標(biāo)性封裝技術(shù)為fan-out wafer-level packaging(FOWLP)，與WLP技術(shù)相比又提供了更廣泛的設(shè)計(jì)選擇，并改良了散熱和電性效能。此技術(shù)牽扯許多不同熱膨脹系數(shù)的材料，包括硅晶圓、再布線層、環(huán)氧封裝樹脂等，因設(shè)計(jì)及應(yīng)用的不同使得裝置非常地多樣化與復(fù)雜，需要各種熱膨脹系數(shù)較適化的玻璃基板支援。另外，針對堿性玻璃可能析出金屬離子而導(dǎo)致高準(zhǔn)確線路的短路問題，我們以無堿玻璃產(chǎn)品提供根本性的改善方案。

　　由于客戶廣泛應(yīng)用的需求，旭硝子一系列新的玻璃基板從傳統(tǒng)的晶圓尺寸，到新的長方形、正方形等面板尺寸一應(yīng)俱全，厚度亦可從0.2mm到2mm當(dāng)中作調(diào)整選擇。

　　產(chǎn)品線包含：「無堿玻璃」熱膨脹系數(shù)在常溫至250°C環(huán)境中與硅完全一致的玻璃基板，熱膨脹系數(shù)在3 ppm/°C到8 ppm/°C之間的玻璃基板。「堿性玻璃」熱膨脹系數(shù)可調(diào)整較高至12 ppm/°C的玻璃基板。

　　除了玻璃材料本身，也提供關(guān)于玻璃的先進(jìn)加工制程技術(shù)，諸如涂布、微米加工制成、微米鉆孔、微印刷技術(shù)及載板玻璃。另外，旭硝子在半導(dǎo)體領(lǐng)域也提供相當(dāng)多元的化學(xué)品。這些加工技術(shù)和化學(xué)品皆會(huì)在SEMICON TAIWAN 2017中展出。

　　旭硝子集團(tuán)提供創(chuàng)新價(jià)值和創(chuàng)新機(jī)能的材料給客戶，身為面板業(yè)界在玻璃領(lǐng)域的帶領(lǐng)者，包括玻璃基板及玻璃蓋板，該集團(tuán)以不斷地技術(shù)創(chuàng)新滿足客戶的需求，期望提升與創(chuàng)造客戶末端產(chǎn)品的附加價(jià)值。