260mm透明石英玻璃管材通過部級(jí)鑒定

    由中國建筑材料聯(lián)合會(huì)科技教育委員會(huì)、清華大學(xué)、中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)、中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協(xié)會(huì)、中國建筑材料科學(xué)研究總院、中國建筑材料檢驗(yàn)認(rèn)證中心、上海強(qiáng)華石英有限公司、北京中關(guān)村科技園區(qū)管委會(huì)等單位的9名相關(guān)人士組成的鑒定小組，對(duì)江蘇省連云港市東�？h宏偉石英制品有限公司提出的“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用直徑260毫米透明石英玻璃管材研制與應(yīng)用”籌備了項(xiàng)目鑒定會(huì)。在鑒定會(huì)上，相關(guān)人士們通過參觀生產(chǎn)現(xiàn)場、閱讀申報(bào)資料、聽取研究報(bào)告和查新資料、相關(guān)人士質(zhì)疑、申報(bào)單位答辯等多個(gè)環(huán)節(jié)后，相關(guān)人士鑒定小組一致通過了部級(jí)新產(chǎn)品和其科技成果的鑒定。

    與會(huì)相關(guān)人士通過對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場的考察和會(huì)議討論，一致認(rèn)為東�？h宏偉石英制品有限公司對(duì)用連熔工藝制備直徑200—260毫米大規(guī)格石英玻璃管核心技術(shù)及其設(shè)備的優(yōu)化設(shè)計(jì)，開展了大量研發(fā)工作，攻克了一系列的關(guān)鍵技術(shù)。

    其成果的突出創(chuàng)新點(diǎn)是：1、在石英原料的提純加工技術(shù)上，采用了四組化學(xué)浮選法，提純后的石英原料純度達(dá)到99.99%，13種雜質(zhì)元素總含量小于20ppm；2、在大尺寸直徑540毫米鎢坩鍋和成形器的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)與匹配技術(shù)以及物料、氣控、水控、電控系統(tǒng)的均衡上創(chuàng)新了優(yōu)化配置技術(shù)；3、直徑200—260毫米高質(zhì)量透明石英管材具有規(guī)格尺寸大、純度和精度高、質(zhì)量一致性好等特點(diǎn)，填補(bǔ)了國內(nèi)同類產(chǎn)品的空白，產(chǎn)品的主要技術(shù)性能指標(biāo)達(dá)到了全部同類產(chǎn)品先進(jìn)水平。

    集成電路作為信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重中之重，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國家信息產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展“十一五”規(guī)劃和“2020年中長期規(guī)劃綱要”的要點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域。大規(guī)格石英玻璃管材已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可缺少的重要產(chǎn)品之一。目前國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)需求大規(guī)格石英玻璃管材，大部分從美國進(jìn)口。而此次通過鑒定的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用透明石英玻璃擴(kuò)散管材產(chǎn)品，攻克了連熔爐拉制外徑大于260毫米以上大規(guī)格石英玻璃管材的難題，特別在連熔爐關(guān)鍵技術(shù)裝備的集成創(chuàng)新上，掌握了生產(chǎn)大規(guī)格石英玻璃管的成套技術(shù)，充分體現(xiàn)了企業(yè)的自主創(chuàng)新能力和水平。
這次鑒定會(huì)由中國建筑材料聯(lián)合會(huì)科技部籌備并主持。