環(huán)境異物對(duì)液晶面板良率的影響

【中玻網(wǎng)】現(xiàn)在國(guó)內(nèi)包括在建的液晶面板廠已經(jīng)超過了30個(gè)，不管是液晶面板預(yù)測(cè)部門還是學(xué)術(shù)界都對(duì)液晶面板產(chǎn)能過剩表示擔(dān)憂。從今年上半年液晶面板價(jià)格大幅下降就不難看出來。在這種情況下，國(guó)內(nèi)各個(gè)企業(yè)都還在毫不余力的擴(kuò)大規(guī)模，增強(qiáng)自己的影響力，擔(dān)心在不久的將來被淘汰出局。要想不被淘汰，只靠龐大的規(guī)模是不行的。相關(guān)部門也不會(huì)一直給企業(yè)資金支持，如果企業(yè)斷了相關(guān)部門資金上支持，再加上企業(yè)效益跟不上去，出局是早晚的事。所以說面板企業(yè)工作重心應(yīng)該由“規(guī)模第1”到“效益第1”轉(zhuǎn)變。

　　為了提效率高益，那就是用很少的錢生產(chǎn)很好的產(chǎn)品。這就離不開技術(shù)的支持，雖然這幾年國(guó)內(nèi)面板廠在TFT制造工藝上已經(jīng)達(dá)到了全部水準(zhǔn)，但整體上還是有差距的。特別是異物控制技術(shù)這方面存在一定的差距。不管從中國(guó)科學(xué)院主辦《液晶與顯示》刊物中還是液晶面板企業(yè)在參加一些學(xué)術(shù)會(huì)議上發(fā)表的論文中不難發(fā)現(xiàn)異物控制技術(shù)重要性(一般TFT-LCD制造過程中異物不良占產(chǎn)品不良率的90%以上)。所以說,改善異物不良就是提效率高益的關(guān)鍵。

　　在TFT-LCD生產(chǎn)環(huán)境中，異物無非來自三個(gè)方面。一方面是工作人員產(chǎn)生的，雖然生產(chǎn)線基本無人，但人員在附近走動(dòng)后會(huì)留下一些異物（防塵服的線頭，人體的脫落皮質(zhì)，頭發(fā)等）;一方面就是設(shè)備產(chǎn)生的，雖然設(shè)備廠家和面板廠工程師都在想辦法舒緩異物的產(chǎn)生，但是設(shè)備只要運(yùn)轉(zhuǎn)都會(huì)產(chǎn)生金屬粉塵；一方面就是為制作TFT-LCD提供的環(huán)境,雖然工廠是密閉的，但是設(shè)備搬入口可以進(jìn)灰塵，還有如果FFU的Filter出現(xiàn)不良，也會(huì)進(jìn)入灰塵等等。在這里不管防塵服的線頭，金屬粉塵還是大氣中的灰塵，他們都會(huì)漂浮在生產(chǎn)環(huán)境的空氣中，在這里我們統(tǒng)稱為環(huán)境異物。

　　怎么控制環(huán)境異物就成了液晶面板廠家要解決的重要課題，雖然各廠家意識(shí)到這一點(diǎn)，之前液晶面板企業(yè)忙著趕超國(guó)外工藝技術(shù)，無暇顧及這方面，也在情理之中。就現(xiàn)在這情況(生產(chǎn)過剩，Panel價(jià)格下降)，各廠家在趕超國(guó)外創(chuàng)新技術(shù)的同時(shí)進(jìn)一步提高環(huán)境異物控制技術(shù)是關(guān)鍵。研究控制環(huán)境異物課題國(guó)外10年前就開始了，我們有些企業(yè)現(xiàn)在連這方面的部門都沒組建，只要有技術(shù)敏感的企業(yè)應(yīng)該感覺到我們和國(guó)外一些企業(yè)技術(shù)差距。

　　國(guó)外從建廠開始之前就已經(jīng)對(duì)Clean Room大環(huán)境開始合理優(yōu)化檢討了，而不是像國(guó)內(nèi)廠說我們已經(jīng)讓相關(guān)設(shè)計(jì)企業(yè)做了規(guī)劃了，難道還要優(yōu)化嗎？當(dāng)然是肯定的。對(duì)于量產(chǎn)前各個(gè)部分環(huán)境的認(rèn)證，量產(chǎn)后Clean Room內(nèi)各個(gè)部分量化指標(biāo)，設(shè)備異物管理等等就更無從談起了。特別是大尺寸面板生產(chǎn)時(shí)對(duì)異物管理水準(zhǔn)要求提高，所以說環(huán)境異物管控好壞直接影響著良率，影響著企業(yè)以后的發(fā)展。