供應(yīng)大面積AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線

產(chǎn)品型號(hào)

HD-JCL-Z1400A

產(chǎn)品介紹

AZO膜生產(chǎn)線共設(shè)計(jì)有七個(gè)真空腔體部分，靠前部分為進(jìn)口室，第二部分為進(jìn)口緩沖室，第三部分為進(jìn)口傳送室，第四部分為工藝室，第五部分為出口傳送室，第六部分為出口緩沖室，第七部分為出口室；兩對(duì)采用PCU04閉路環(huán)控制的中頻孿生Si靶，形成高質(zhì)量的隔離SiO2層；十對(duì)圓柱AZO靶，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的AZO透明導(dǎo)線膜；設(shè)備設(shè)計(jì)加工尺寸為寬1100mm，長1400mm的平面基板材料，生產(chǎn)加工周期可優(yōu)化到100－180秒；生產(chǎn)線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的先進(jìn)設(shè)計(jì)，生產(chǎn)線采用渦輪浮分子泵以獲得的隔離、穩(wěn)定的抽速和均勻的氣體分布。

生產(chǎn)線技術(shù)特點(diǎn)

（1）設(shè)備類型：臥式連續(xù)磁控濺射鍍膜線（2）鍍膜基片架尺寸：按照1×1100mm（W）×?1400mm(L)×3mm基片設(shè)計(jì)；（4）膜層均勻性設(shè)計(jì)要求：在有效沉積區(qū)域內(nèi)，膜層厚度均勻性≤±5％；（6）陰極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求：采用中頻孿生旋轉(zhuǎn)陰極，初步確定靶規(guī)格為135mm×1400mm；（7）設(shè)備傳動(dòng)方式：采用雙摩擦傳動(dòng)的臥式小車裝載進(jìn)片方式（不采用滾輪設(shè)計(jì)）；（8）鍍膜工藝實(shí)現(xiàn)方式：采用ZnO：Al陶瓷靶，采用反應(yīng)濺射沉積工藝；（9）鍍膜溫度控制：采用不銹鋼鎧裝加熱裝置（可以按客戶要求采用燈管加熱），較高溫度為350℃，按照常溫～400℃可以任意設(shè)定設(shè)計(jì)，控制穩(wěn)定度為±5℃；（10）控制系統(tǒng)要求：控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)人、機(jī)對(duì)話，及時(shí)對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行必要干預(yù)。運(yùn)行過程有報(bào)警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。

技術(shù)參數(shù)

1）極限真空壓力：6×?1?0E-4?Pa2）平均生產(chǎn)周期：80－180?秒／架3）基片架尺寸：1100?mm×?1400mm（可以根據(jù)要求定做）4）膜層均勻性：±5%

成功案例

中國建筑材料集團(tuán)

湖南湘潭宏大真空設(shè)備有限公司成立于2000年，集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售于一體，有經(jīng)驗(yàn)從事真空鍍膜設(shè)備及其零部件制造。歷經(jīng)十余載的經(jīng)營發(fā)展，公司已成功躋身重要高新技術(shù)企業(yè)之林，在真空設(shè)備行業(yè)的同類產(chǎn)品中，宏大真空的市場(chǎng)占有率已達(dá)到90%以上，成為國內(nèi)行業(yè)帶領(lǐng)企業(yè)，并帶領(lǐng)中國真空鍍膜設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展。公司主營產(chǎn)品：建筑裝飾玻璃連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線，平板顯示導(dǎo)電膜玻璃連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線，非晶硅薄膜太陽能電較連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線，裝飾連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線，各種單體和雙室真空鍍膜機(jī)等六大系列20余種產(chǎn)品。其核心產(chǎn)品已通過國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢驗(yàn)，擁有單獨(dú)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，不斷刷新著中國真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展里程。作為中國乃至亞太地區(qū)非常大的真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)基地，宏大真空公司已成為中國南玻集團(tuán)、中國建筑材料集團(tuán)、信利半導(dǎo)體有限公司、華光集團(tuán)等國內(nèi)知名公司長期戰(zhàn)略合作伙伴，為其提供多條連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線。不僅如此，公司產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美國、德國、新加坡、馬來西亞等國家和地區(qū)，并逐步加強(qiáng)與德國萊寶、德國馮﹒阿登納、美國應(yīng)用材料、日本光馳等較有優(yōu)勢(shì)企業(yè)的技術(shù)交流和溝通，在大部分國家真空鍍膜設(shè)備制造領(lǐng)域已具備趕超世界高等的水平.研發(fā)創(chuàng)新多條真空鍍膜生產(chǎn)線的成功經(jīng)驗(yàn)的真空成套設(shè)備設(shè)計(jì)制造技術(shù)團(tuán)隊(duì)成熟的鍍膜工藝方案有經(jīng)驗(yàn)的安裝和售后服務(wù)隊(duì)伍宏大真空，精益求精制造世界高等真空鍍膜設(shè)備。

主營產(chǎn)品：建筑裝飾玻璃連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線,平板顯示導(dǎo)電膜玻璃連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線,非晶硅薄膜太陽能電較連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線,裝飾連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線,雙室真空鍍膜機(jī),單體,雙室真空鍍膜機(jī),多弧離子鍍膜機(jī) 公司成立年份：2003
公司網(wǎng)址：http://hdzksb.glass.com.cn

供應(yīng)大面積AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線

光學(xué)透明材料具有質(zhì)量輕、耐沖擊強(qiáng)度高、易于加工成型等優(yōu)良特點(diǎn)，最常見的光學(xué)透明材料-有機(jī)玻璃(PMAA)是應(yīng)用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風(fēng)擋及座艙航空透明件，還包括各型復(fù)雜曲率的機(jī)身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，航空器隱身技術(shù)的發(fā)展，以及未來電子電磁對(duì)抗，實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽功能的需要，有機(jī)玻璃透明件作為機(jī)身的重要組成構(gòu)件之一，也必須實(shí)現(xiàn)隱身功能，以適應(yīng)未來的戰(zhàn)爭(zhēng)環(huán)境。因此，在有機(jī)光學(xué)材料特別是航空有機(jī)玻璃表面鍍制各類導(dǎo)電膜層，是實(shí)現(xiàn)航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機(jī)玻璃的耐溫點(diǎn)低，無法達(dá)到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實(shí)現(xiàn)，加工制造難度非常大，所以有機(jī)玻璃表面導(dǎo)電功能膜系的制造必須采用特種工藝進(jìn)行鍍制。為解決這一關(guān)鍵技術(shù)障礙，經(jīng)過公司技術(shù)人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術(shù)，在高等級(jí)潔凈凈化室內(nèi)，成功的在低溫基片上制備出高質(zhì)量的各類導(dǎo)電膜系。各類導(dǎo)電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點(diǎn)。