柱面鏡可達(dá)到的具體指標(biāo)如下:較長:500mm,較小:1mm以下;外型:+/-0.02;中心厚:+/-0.02;光潔度:10-5?以上面型:如有特殊要求可以達(dá)到1/5λ,甚至更好。?月產(chǎn)量:10萬片上(6.25*6.25)
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